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碳化硅激光加工设备
2023-08-28
碳化硅激光加工设备

        可在小于12英寸的碳化硅晶锭内部精准形成均匀改质层，结合剥离技术实现晶圆级剥离。亦可应用于金刚石、氮化镓、氮化铝、氧化铝等硬脆材料的高效激光剥离。


       

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