冰刻微纳加工系统

“冰刻”是使用“冰胶”替代光刻胶完成微纳加工的电子束光刻技术。在零下140度左右的真空环境下，“冰”能够在平面或立体表面形成均匀“薄膜”，结合一体化集成电子束加工镀膜、刻蚀等工艺流程，可实现三维结构加工、立体表面加工、敏感材料加工等应用。

技术优势

敏感材料加工/原位对准及多层套刻

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